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以99.5%n2为原料,在除氧器中加入专用除氧剂,其中的碳与n2中的o2反应(c+o2=co2),使n2中氧含量小于5ppm,再经干燥过滤,制取高纯氮气。此型号设备可广泛应用于气氛不允许含氢的生产工艺。