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以纯度≥98%的氮气为原料,在除氧器中加入适量的h2,h2和n2中的o2在催化剂的作用下反应(2h2+o2=2h2o),使n2中的o2含量小于5ppm,然后进入除氢器中除氢,使n2中氢含量小于5ppm,再进入干燥器内进行干燥除水,并过滤后输出高品质、高纯度的氮气。