以99.5%N2为原料,在除氧器中加入专用除氧剂,其中的碳与N2中的O2反应(C+O2=CO2),使N2中氧含量小于5ppm,再经干燥过滤,制取高纯氮气。此型号设备可广泛应用于气氛不允许含氢的生产工艺。