以纯度≥98%的氮气为原料，在除氧器中加入适量的H2，H2和N2中的O2在催化剂的作用下反应(2H2+O2=2H2O)，使N2中的O2含量小于5ppm，然后进入除氢器中除氢，使N2中氢含量小于5ppm，再进入干燥器内进行干燥除水，并过滤后输出高品质、高纯度的氮气。